Для получения, поддержания, контроля и оценки вакуума используется специальная вакуумная техника. С целью обеспечения эффективной откачки газа и поддержания высокой степени вакуума необходимо принимать комплекс мер как на этапе изготовления оборудования, так и в процессе ее обслуживания.
Основными причинами потери вакуума являются разгерметизация камер разряжения, а также загрязнение вакуума различными жидкостями или иными компонентами.
Для решения задач по предотвращению этой проблемы и обеспечения долговременной эффективной работы вакуумной техники применяются специальные материалы.
К основным группам таких материалов относятся:
- Синтетические жидкости на основе силиконов для высоковакуумных установок
- Масла для компрессоров и вакуумных насосов
- Вакуумные смазки
- Покрытия
Для обеспечения высокой степени вакуума в установках используются специальные жидкости на основе силиконов. Такими продуктами являются вакуумные жидкости Dow Corning 704 (DC-704) и Dow Corning 702 (DC-702).
Главным свойством специальной жидкости Dow Corning 702 является обеспечение быстрого накачивания больших объемов газов и паров, что позволяет производить вакуум от 10-5 до 10-7 торр. Даже в вакуум-эжекторных насосах она способна создавать вакуум от 10-4 до 10-5 мм рт.ст.
Dow Corning 704 и Dow Corning 702 – однокомпонентные бесцветные жидкости, подходят для диффузионных насосов ультра-высоковакуумных, применяемых в электронике, металлургии и производстве оборудования, а также могут быть использованы в качестве трансмиссионной жидкости в высокотемпературных ходовых механизмах и различных инструментах. Эти жидкости позволяют достигать вакуума до 10-6...10-8 (неуловленный) и до 10-10...10-11 мм рт.ст. (уловленный).
За счет высокой химической стабильности и низкой испаряемости вакуумные жидкости DC-702 и DC-704 хорошо работают в жестких и трудных условиях. Они обеспечивают быструю откачку даже после внешнего воздействия воздуха и температуры, могут применяться в условиях радиации и нагрева, не загрязняя при этом рабочую камеру.
В настоящее время Dow Corning 704 не поставляется в Россию. Рекомендуемая замена – вакуумные жидкости торговой марки EFELE, в частности EFELE SO-704.
EFELE SO-704 – это бесцветная силиконовая маслянистая жидкость, широко используемая в металлургии, электронике, а также при производстве другого оборудования. По свойствам и характеристикам аналогична вакуумной жидкости Dow Corning 704, поэтому также используется в диффузионных вакуумных насосах для создания больших объемов высокого вакуума.
Преимущества:
- Высокая устойчивость к окислению
- Низкое давление насыщенных паров
- Стабильные рабочие характеристики
- Длительный срок эксплуатаци
Вакуумная жидкость EFELE SO-704 может использоваться не только в качестве рабочей жидкости для вакуумных насосов. Она отлично справляется со своими функциями в качестве трансмиссионной жидкости в различных высокотемпературных ходовых механизмах и инструментах.
Выбирать масло для вакуумных насосов следует по характеристикам и типам последних с обязательным учетом совместимости перекачиваемой жидкости или газа.
Специально для вакуумных насосов разработано высокоочищенное минеральное компрессорное масло Molykote L-0610, имеющее отличную устойчивость к окислению. Специальные присадки в масле Molykote L-0610 минимизируют образование эмульсий при контакте с водой. Полусинтетическое (ПАО) масло Molykote L-1668FM, обладая всеми достоинствами смазочных материалов, применяемых для обслуживания вакуумной техники, имеет пищевой допуск и может использоваться на производствах продуктов питания.
Масла Molykote для компрессоров и вакуумных насосов предназначены для работы в различных условиях (в том числе с агрессивными средами) на протяжении до 40 000 моточасов.
Вакуумная пластичная смазка Dow Corning High Vacuum Grease обеспечивает герметизацию и дополнительную защиту уплотнений. Он может применяться в аварийных ситуациях для сохранения вакуума в случаях потери герметичности. В качестве уплотнителя для вакуумных систем рекомендуется использовать устойчивую к большинству химикатов силиконовую смазку-герметик Molykote 111.
Уплотнительная морозо- и термостойкая пластичная смазка EFELE SG-393 может применяться в качестве герметика элементов вакуумных насосов. Создана на основе высоковязкого силиконового базового масла и политетрафторэтилена. Смазка устойчива к смыванию водой, совместима с большинством пластмасс, эластомеров и керамическими уплотнителями.
Для обслуживания подшипниковых опор, работающих в вакууме, применяются пластичные вакуумные смазки Molykote HP-870 и Molykote HP-300. Данные смазки имеют сверхмалую испаряемость и не вызывают загрязнения вакуума. Molykote HP-870 и Molykote HP-300 эффективны при температуре до +250 °C и высоких нагрузках.
Синтетическая термо- и химически стойкая вауумная смазка EFELE SG-394 имеет пищевой допуск Н1 и применяется на производствах, где возможен контакт с продуктами питания. Смазка не плавится и не течет даже при высоких температурах.
Преимущества:
- Высокие антикоррозионные свойства
- Устойчивость к химически агрессивным средам
- Совместимость с пластмассами и эластомерами
Если применение пластичных смазок невозможно, рекомендуется нанесение сухого антифрикционного покрытия Molykote D-321 R на основе дисульфида молибдена и графита, которое создает пленку, устойчивую к действию вакуума и радиации.
Для вакуумного оборудования применяется также сухая смазка с антифрикционным покрытием EFELE AF-511 SPRAY. В основе смазки дисульфид молибден и графит с неорганическим связующим, отверждаемым при нормальной температуре.
Преимущества:
- Не теряет эффективность в условиях вакуума
- Имеет широкий диапазон рабочих температур от -180 до +450 °С
- Предотвращает схватывание, задир, заедание, фреттинг-коррозию
- Устойчиво к радиационной среде и пыли
Продукция торговой марки EFELE имеет идеальное соотношение цена-качество. Смазочные материалы универсальны, могут применяться для различных узлов вакуумного оборудования. Широкий температурный диапазон позволяет использовать смазки EFELE для экстремально высоких и низких температур.
Для формирования прокладок и герметизации фланцевых соединений используется силиконовый герметик Dow Corning Q3-1566 (черного цвета) с низкой испаряемостью. Он применяется в диапазоне рабочих температур от -50 до +350 °C.
Применение перечисленных материалов обеспечит вакуумному оборудованию длительную работу с высокими характеристиками и позволит существенно увеличить интервалы между его техническим обслуживанием.